二塔式NOxスクラバを開発　1号機を長野電子工業（株）殿に納入

三菱化工機株式会社（代表取締役社長：籔内康雄、 TEL044-333-5354）は、信越半導体株式会社と二塔式湿式脱硝装置を共同開発（特許出願中）し、このたび長野電子工業株式会社（代表取締役社長：市川和成）にシリコンウエハ製造工場排ガス処理用として実用装置を納入した。

二塔式湿式脱硝装置は、アルカリ系水溶液でNOxを吸収する方式で、第一塔と第二塔のpH及び溶液濃度等の条件を変えることにより脱硝性能を向上させ、且つ、吸収液を有効に利用することによりランニングコストの低減を図った。
この実績を基に、三菱化工機株式会社は、今後一般に拡販していくことになった。

本装置の特長

• 第一塔で予備脱硝し、さらに第二塔で脱硝するため、90%以上の高い脱硝率が得られる。
• 排液は第一塔からのみで、pHは中性に近く、排水処理設備への負荷が少ない。
• 第二塔からの吸収液を第一塔に送り、有効に活用するため薬剤等の処理コストを削減できる。
• NO2濃度が高くても排ガス処理が容易である。また、NOx濃度の変動に対しての追従性が高い。
• 操作性が良くメンテナンスも容易である。

標準装置概略は次の通り。
処理ガス量60m3/min
価格 4500万円