液晶製造装置向け大容量燃焼式排ガス除害・
粉体処理システムを技術導入
三菱化工機株式会社(社長:波多野 怜)は、業務提携先の独DAS社(DAS - Duennschicht Anlagen Systeme GmbH、社長:ホルスト・ライヒャルト)が液晶製造装置向けに開発した大容量燃焼式排ガス除害・粉体処理システム・ESCAPE GIANT(エスケープ・ジャイアント)を技術導入し、液晶パネルメーカー向けに販売を開始致します。
排ガス除害処理・粉体処理システム・ESCAPE GIANT(エスケープ・ジャイアント)は、全世界で1300台以上の納入実績のある半導体製造装置向け燃焼式排ガス除害処理装置で培ってきたノウハウと経験を生かし、今後需要の拡大が予想される液晶パネルメーカーをターゲットとして、独DAS社が開発した処理システムです。本システムは、従来の排ガス除害処理装置と同様に、排出されるプロセスガスを燃焼とアルカリスクラバーによって完全無害化する機能に加え、処理時に大量発生する粉体の回収機能を備えていることが大きな特長です。排ガス除害処理の後段でのダクトやバグフィルターに大量に蓄積される粉体の清掃作業が大幅に削減されるため、装置の稼働率が向上し、また、環境保全にも貢献します。
[ESCAPE GIANTの特長]
- 燃焼により発生した粉体を回収
燃焼により発生した粉体(SiO2)を、セルフクリーニング機能付き集塵装置が回収します。微粉体の回収率は、99.9%です。 - 粉体による閉塞を防止
常に薄い液膜で燃焼リアクター内部を覆っているため、排ガス燃焼時に大量発生する粉体が内部に滞留・付着しません。液膜は腐食も防ぎます。 - コンパクト設計を徹底
排ガス処理量は最大毎分1500リットルと大容量ですが、幅3.5メートル、奥行き1.5メートル、高さ2.5メートルとコンパクトな装置に仕上げました。
[販売計画]
従来の半導体装置向け排ガス除害処理装置と今回の液晶製造装置向け排ガス除害処理装置の製作・販売で、3年以内に年間30億円以上の売上達成を計画しています。
DAS社は、ドイツ・ドレスデンに本社を置く1991年創立の会社です。燃焼式排ガス除害処理装置の開発・製作・販売を専門に行っています。三菱化工機は、本年10月末に、DAS社の発行済み株式の33.3%を取得し、開発・製作・販売に関する業務提携関係を強化しています。
本装置については、12月1日より3日まで、幕張メッセにて開催されるセミコンジャパン2004の当社展示ブースで紹介致します。
ESCAPE GIANT の外観