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2003年11月20日

半導体製造装置排ガス処理装置の新製品「三菱-DAS燃焼式排ガス除害装置ESCAPE MODULE (モジュール)シリ-ズ」を開発、国内半導体メーカーに納入を開始。

三菱化工機(社長:波多野 怜)は、このほど300mmウェーハ対応の半導体生産ラインへの適用を考慮した最新型の三菱-DAS燃焼式排ガス除害装置「ESCAPE MODULE (モジュール)シリ-ズ」を開発し、国内半導体メーカーへ納入を開始致しました。

今回、開発した最新型の燃焼式排ガス除害装置ESCAPE MODULE (モジュール)シリ-ズは、燃焼リアクターと制御装置及びバックアップシステムを各々モジュール化し、目的用途に応じた除害システムに組み立てる、まったく新しいコンセプトの除害装置です。

今回納入を開始した新型ESCAPE MODULE (モジュール)シリ-ズは、当社が従来より製造している「ESCAPE INLINEシリ-ズ」の次の5点の特長を保持継承しています。

以上の特長に加え、新型ESCAPE MODULE (モジュール)シリ-ズには、次の4点の新機能が付加されています。

燃焼式排ガス除害装置ESCAPE INLINEシリ-ズは、国内の半導体製造会社各社にこれまで64台、世界ではこれまでに750台以上の納入実績を有しておりますが、今回納入した新型ESCAPE MODULEシリ-ズを新たに加え、当社は今後の半導体製造装置の主流となる300mmウェーハ生産ライン向けに積極的に販売展開を行います。

新型ESCAPE MODULEシリ-ズの販売価格は、1台当り1,500~4,800万円、2年後には年間10億円の売上を目標としております。

三菱化工機は、燃焼式排ガス除害装置の新型ESCAPE MODULEシリ-ズ及び従来型ESCAPE INLINEシリ-ズの拡販を通じて、地球温暖化ガスを燃焼分解し、地球環境の維持改善に貢献すると同時に、半導体排ガスのより一層安全で効率的な処理を目指して、今後さらにこの装置の改良・開発を積極的に推進する所存です。

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